【机器人：目前暂无脑机接口相关产品】机器人7月17日在互动平台表示，公司目前暂无脑机接口相关产品。在半导体装备业务领域产品包括EFEM、大气机械手、真空机械手及真空传输平台等，主要应用于刻蚀、薄膜、离子注入等工艺环节及领域。
机器人：目前暂无脑机接口相关产品
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【机器人：目前暂无脑机接口相关产品】机器人7月17日在互动平台表示，公司目前暂无脑机接口相关产品。在半导体装备业务领域产品包括EFEM、大气机械手、真空机械手及真空传输平台等，主要应用于刻蚀、薄膜、离子注入等工艺环节及领域。